真空脫氣超聲波清洗機的具體工藝為：清洗時首先在常壓下把被清洗的物體投入到清洗液中，待清洗液滲透到工件的細孔或深孔中，然后進行真空脫氣處理，在減壓抽真空過程中，促使清洗液中溶解的微小氣泡隨著氣壓的降低，在細孔中膨脹，進而把污垢一同帶出，然后在真空狀態下，啟動超聲波發生裝置，利用超聲波在脫氣后的清洗液中良好的清洗能力剝除污垢。然后開動循環泵使清洗液在真空狀態下，發生循環流動并通過過濾器把污垢吸附清除。為提高清洗效果還可以反復進行減壓脫氣和恢復到常壓狀態的循環操作，以提高超聲波的傳送效率和增強對污垢的剝離效果。